梁宋松此时的工作就是在观察芯片扫描光刻的验片数据结果，两只眼睛一眨不眨的盯着工作站的显示屏。突然，他大笑一声，“成了，老师。第一片硅晶片光刻成品率达到百分之一百！”

说完这些，他一跃而起，从电脑转椅上跳了起来。

虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步，后续的工序仍然会降低芯片成品率，但百之一百的成功率还是值得庆贺的。

“百分一百的成品率？这么厉害？”刘教授听到这个数据，顿时有点瞠目结舌了。

其他的专家教授们也是如此，顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边，想要一睹为快。

此时此刻，电脑屏幕上显示的一组组图形比对数据，并没有什么芯片物理图形，不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出，第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。

“各位专家，我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺，其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过，激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层，留下电路图的影像……”90看

梁宋松指着电脑屏幕，把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程，一一跟这些专家们介绍一番。

这些专家们理论知识比较丰富，第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。

特别是胡明镇发明的ffet制程工艺，他们只是在专业杂志上看过技术论文报道，根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到krf光刻机实施光刻、验片等工艺流程，总算是开了眼界。

“这套系统的技术确实强，已经超过我所意料之外。”

“真没想到，我们华国也能制造出这种尖端精密设备！”

“胡教授，你们给我们国家争光了。”